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中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場(chǎng)運(yùn)行態(tài)勢(shì)及發(fā)展前景研判報(bào)告(2025版)
半導(dǎo)體清洗設(shè)備
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中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場(chǎng)運(yùn)行態(tài)勢(shì)及發(fā)展前景研判報(bào)告(2025版)

發(fā)布時(shí)間:2025-06-20 16:08:02

《中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場(chǎng)運(yùn)行態(tài)勢(shì)及發(fā)展前景研判報(bào)告(2025版)》共七章,包含中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)崂砑叭吧疃冉馕?,全球及中國半?dǎo)體清洗設(shè)備代表性企業(yè)發(fā)展布局案例研究,中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)及投資策略建議等內(nèi)容。

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半導(dǎo)體清洗設(shè)備,其作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵環(huán)節(jié),對(duì)芯片良率及性能影響重大,核心應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片制造、晶圓制造與封裝測(cè)試流程,戰(zhàn)略價(jià)值極高。

全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備產(chǎn)業(yè)伴隨半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展而演進(jìn),自美國無線電公司發(fā)明RCA工藝起逐步發(fā)展。我國產(chǎn)業(yè)起步相對(duì)較晚,但發(fā)展迅速。當(dāng)下,行業(yè)整體處于持續(xù)發(fā)展階段,下游半導(dǎo)體應(yīng)用需求增長、產(chǎn)能向中國大陸轉(zhuǎn)移以及設(shè)備國產(chǎn)化需求增強(qiáng)等因素,驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)前行。然而,在資源方面,部分關(guān)鍵原材料依賴進(jìn)口;技術(shù)層面,與國際先進(jìn)水平仍有差距,尤其在高精度與智能化技術(shù)領(lǐng)域;供應(yīng)鏈上,產(chǎn)業(yè)鏈配套尚不完善。

本報(bào)告聚焦2020-2024年中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備產(chǎn)業(yè),通過整合政策導(dǎo)向、技術(shù)創(chuàng)新成果、市場(chǎng)發(fā)展動(dòng)態(tài)及企業(yè)實(shí)踐案例,系統(tǒng)性梳理產(chǎn)業(yè)鏈上下游生態(tài)格局。深入剖析行業(yè)供需矛盾與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)態(tài)勢(shì),從多維視角解讀產(chǎn)業(yè)發(fā)展特征與挑戰(zhàn),并對(duì)未來演進(jìn)路徑作出前瞻性研判。報(bào)告面向半導(dǎo)體行業(yè)從業(yè)者、投資者及政策制定者,旨在提供兼具深度與廣度的行業(yè)洞察,為戰(zhàn)略決策、投資規(guī)劃及政策制定提供有力參考依據(jù)。

半導(dǎo)體清洗是指針對(duì)不同的工藝需求對(duì)晶圓表面進(jìn)行無損傷清洗以去除半導(dǎo)體制造過程中的顆粒、自然氧化層、金屬污染、有機(jī)物、犧牲層、拋光殘留物等雜質(zhì)的工序。半導(dǎo)體清洗設(shè)備即是對(duì)晶圓表面進(jìn)行無損傷清洗以去除雜質(zhì),獲得所需潔凈表面,為下一步工藝準(zhǔn)備良好條件的工藝設(shè)備。

清洗是貫穿半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要工藝環(huán)節(jié),用于去除半導(dǎo)體硅片制造、晶圓制造和封裝測(cè)試每個(gè)步驟中可能存在的雜質(zhì),避免雜質(zhì)影響芯片良率和芯片產(chǎn)品性能。目前,隨著芯片制造工藝先進(jìn)程度的持續(xù)提升,對(duì)晶圓表面污染物的控制要求不斷提高,每一步光刻、刻蝕、沉積等重復(fù)性工序后,都需要一步清洗工序。

據(jù)統(tǒng)計(jì)2024年我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)產(chǎn)值為56.39億元,同期國內(nèi)市場(chǎng)規(guī)模為206.24億元,半導(dǎo)體清洗設(shè)備國產(chǎn)化率為27.34%,在同期全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模總量的42.12%。清洗設(shè)備可以細(xì)分為單片清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、組合式清洗設(shè)備和批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備等,其中單片清洗設(shè)備是我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備中規(guī)模最大的細(xì)分品類,2024年我國單片清洗設(shè)備超百億元。

據(jù)統(tǒng)計(jì)2024年我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)產(chǎn)值為56.39億元,同期國內(nèi)市場(chǎng)規(guī)模為206.24億元,半導(dǎo)體清洗設(shè)備國產(chǎn)化率為27.34%,在同期全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場(chǎng)規(guī)??偭康?2.12%。清洗設(shè)備可以細(xì)分為單片清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、組合式清洗設(shè)備和批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備等,其中單片清洗設(shè)備是我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備中規(guī)模最大的細(xì)分品類,2024年我國單片清洗設(shè)備超百億元。

【特別說明】
1)內(nèi)容概況部分為我司關(guān)于該研究報(bào)告核心要素的提煉與展現(xiàn),內(nèi)容概況中存在數(shù)據(jù)更新不及時(shí)情況,最終出具的報(bào)告數(shù)據(jù)以年度為單位監(jiān)測(cè)更新。
2)報(bào)告最終交付版本與內(nèi)容概況在展示形式上存在一定差異,但最終交付版完整、全面的涵蓋了內(nèi)容概況的相關(guān)要素。報(bào)告將以PDF格式提供。

報(bào)告目錄

第1章半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)界定及發(fā)展環(huán)境剖析

1.1 半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)界定及統(tǒng)計(jì)說明

1.1.1 半導(dǎo)體清洗設(shè)備在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的地位

1.1.2 半導(dǎo)體清洗設(shè)備的界定與工作原理

(1)半導(dǎo)體清洗設(shè)備的界定

(2)半導(dǎo)體清洗設(shè)備工作原理

(3)半導(dǎo)體清洗設(shè)備的分類

1.1.3 本行業(yè)關(guān)聯(lián)國民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類

1.1.4 本報(bào)告行業(yè)研究范圍的界定說明

1.1.5 本報(bào)告的數(shù)據(jù)來源及統(tǒng)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)說明

1.1.6 本報(bào)告行業(yè)測(cè)算邏輯

1.2 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)政策環(huán)境

1.2.1 行業(yè)監(jiān)管體系及機(jī)構(gòu)介紹

1.2.2 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)現(xiàn)狀

(1)現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)匯總

(2)重點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)解讀

1.2.3 行業(yè)發(fā)展相關(guān)政策規(guī)劃匯總及解讀

(1)行業(yè)發(fā)展相關(guān)國家政策規(guī)劃匯總

(2)行業(yè)發(fā)展相關(guān)地方政策規(guī)劃匯總

1.2.4 行業(yè)重點(diǎn)政策規(guī)劃解讀

1.2.5 政策環(huán)境對(duì)行業(yè)發(fā)展的影響分析

1.3 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)經(jīng)濟(jì)環(huán)境

1.3.1 宏觀經(jīng)濟(jì)發(fā)展現(xiàn)狀

1.3.2 宏觀經(jīng)濟(jì)發(fā)展展望

1.3.3 宏觀經(jīng)濟(jì)對(duì)半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展的影響

1.4 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)社會(huì)環(huán)境

1.4.1 中國人口規(guī)模及結(jié)構(gòu)

1.4.2 中國城鎮(zhèn)化水平變化

1.4.3 中國居民收入水平及結(jié)構(gòu)

1.4.4 中國居民消費(fèi)支出水平及結(jié)構(gòu)演變

1.4.5 中國消費(fèi)新趨勢(shì)

1.4.6 社會(huì)環(huán)境變化對(duì)行業(yè)發(fā)展的影響分析

1.5 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)技術(shù)環(huán)境

1.5.1 半導(dǎo)體清洗方法和工藝方案

(1)清洗方法分類

(2)半導(dǎo)體清洗技術(shù)——濕法清洗

(3)半導(dǎo)體清洗技術(shù)——干法清洗

1.5.2 半導(dǎo)體清洗設(shè)備技術(shù)創(chuàng)新動(dòng)態(tài)

(1)微波等離子體半導(dǎo)體晶圓清洗系統(tǒng)

(2)單片晶圓清洗機(jī)尾氣處理系統(tǒng)

1.5.3 半導(dǎo)體清洗設(shè)備相關(guān)專利申請(qǐng)及公開情況

(1)半導(dǎo)體清洗設(shè)備相關(guān)專利申請(qǐng)情況

(2)半導(dǎo)體清洗設(shè)備相關(guān)專利公開情況

1.5.4 半導(dǎo)體清洗設(shè)備技術(shù)創(chuàng)新趨勢(shì)

1.5.5 技術(shù)環(huán)境對(duì)行業(yè)發(fā)展的影響分析

第2章全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)及前景預(yù)測(cè)

2.1 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展歷程及發(fā)展環(huán)境分析

2.1.1 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展歷程

2.1.2 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展環(huán)境

2.2 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)供需狀況及市場(chǎng)規(guī)模測(cè)算

2.2.1 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)供需狀況

2.2.2 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模測(cè)算

2.3 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)區(qū)域發(fā)展格局及重點(diǎn)區(qū)域市場(chǎng)研究

2.3.1 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)區(qū)域發(fā)展格局

2.3.2 重點(diǎn)區(qū)域半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析

(1)韓國

(2)北美

(3)日本

2.4 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)狀況分析

2.4.1 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)狀況

2.4.2 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)兼并重組狀況

2.5 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)及市場(chǎng)前景預(yù)測(cè)

2.5.1 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)預(yù)判

2.5.2 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)前景預(yù)測(cè)

第3章中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀與市場(chǎng)痛點(diǎn)分析

3.1 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展歷程及市場(chǎng)特征

3.1.1 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展歷程

3.1.2 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場(chǎng)發(fā)展特征

(1)芯片制造技術(shù)推動(dòng)清洗工序增長,帶動(dòng)半導(dǎo)體清洗設(shè)備發(fā)展

(2)半導(dǎo)體清洗設(shè)備處產(chǎn)業(yè)鏈上游,市場(chǎng)規(guī)模受下游需求拉動(dòng)

3.2 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)進(jìn)出口狀況分析

3.2.1 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)進(jìn)出口概況

3.2.2 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)進(jìn)口狀況

(1)行業(yè)進(jìn)口規(guī)模

(2)行業(yè)進(jìn)口價(jià)格水平

(3)行業(yè)進(jìn)口產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

(4)行業(yè)主要進(jìn)口來源地

(5)行業(yè)進(jìn)口趨勢(shì)及前景

3.2.3 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)出口狀況

(1)行業(yè)出口規(guī)模

(2)行業(yè)出口價(jià)格水平

(3)行業(yè)出口產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

(4)行業(yè)主要出口來源地

(5)行業(yè)出口趨勢(shì)及前景

3.3 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)供需狀況

3.3.1 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)參與者類型及規(guī)模

3.3.2 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)參與者進(jìn)場(chǎng)方式

3.3.3 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)供給分析

3.3.4 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)需求分析

3.3.5 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)價(jià)格水平及走勢(shì)

3.4 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模測(cè)算

3.5 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)痛點(diǎn)分析

3.5.1 技術(shù)研發(fā)與人才體系結(jié)構(gòu)性失衡

3.5.2 核心零部件供應(yīng)鏈自主化率低

3.5.3 市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局與生態(tài)位劣勢(shì)

第4章中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)狀態(tài)及市場(chǎng)格局分析

4.1 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)波特五力模型分析

4.1.1 上游議價(jià)能力分析

4.1.2 下游議價(jià)能力分析

4.1.3 行業(yè)內(nèi)企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)分析

4.1.4 替代品威脅分析

4.1.5 潛在進(jìn)入者分析

4.1.6 行業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)總結(jié)

4.2 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)格局及集中度分析

4.2.1 半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局:國際巨頭主導(dǎo)高端與國內(nèi)企業(yè)分層突破

4.2.2 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)國際競(jìng)爭(zhēng)力分析

4.2.3 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)成熟制程國產(chǎn)替代現(xiàn)狀

4.2.4 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)企業(yè)集中度分析

4.2.5 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)集中度分析

4.3 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)投融資、兼并與重組狀況

4.4 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)進(jìn)入與退出壁壘

第5章中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)崂砑叭吧疃冉馕?/h4>

5.1 半導(dǎo)體清洗設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)崂斫Y(jié)構(gòu)

5.2 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)上游供應(yīng)市場(chǎng)解析

5.2.1 半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)上游原材料類型

5.2.2 半導(dǎo)體清洗設(shè)備上游核心組件類型

5.2.3 半導(dǎo)體清洗設(shè)備上游供應(yīng)狀況分析

(1)中國儀器儀表行業(yè)供給情況

(2)中國傳感器行業(yè)供給情況

5.2.4 上游供應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展的影響分析

5.3 半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)設(shè)計(jì)市場(chǎng)

5.4 半導(dǎo)體制造發(fā)展前景及其半導(dǎo)體清洗設(shè)備的需求分析

5.4.1 半導(dǎo)體制造業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

(1)中國分立器件產(chǎn)業(yè)規(guī)模

(2)中國集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模

5.4.2 半導(dǎo)體制造業(yè)影響因素

(1)政策與資本持續(xù)助力

(2)新興應(yīng)用場(chǎng)景廣闊

(3)技術(shù)創(chuàng)新突破

(4)全球產(chǎn)業(yè)鏈重構(gòu)機(jī)遇

5.4.3 半導(dǎo)體制造業(yè)發(fā)展前景

5.4.4 半導(dǎo)體制造業(yè)對(duì)清洗設(shè)備的需求趨勢(shì)分析

(1)高精度與高效能需求增長

(2)智能化與自動(dòng)化水平提升

(3)環(huán)保與可持續(xù)性需求增加

(4)復(fù)合清洗技術(shù)應(yīng)用

(5)國產(chǎn)化替代趨勢(shì)

第6章全球及中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備代表性企業(yè)發(fā)展布局案例研究

6.1 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備代表性企業(yè)發(fā)展布局對(duì)比

6.2 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)代表性企業(yè)布局案例

6.2.1 日本Screen Holdings(迪恩士)

(1)企業(yè)發(fā)展歷程及基本信息

(2)企業(yè)發(fā)展?fàn)顩r

(3)企業(yè)半導(dǎo)體清洗設(shè)備業(yè)務(wù)布局現(xiàn)狀

6.2.2 日本Tokyo Electron(東京電子)

(1)企業(yè)發(fā)展歷程及基本信息

(2)企業(yè)發(fā)展?fàn)顩r

(3)企業(yè)半導(dǎo)體清洗設(shè)備業(yè)務(wù)布局現(xiàn)狀

6.2.3 美國Lam Research(泛林集團(tuán)/拉姆研究)

(1)企業(yè)發(fā)展歷程及基本信息

(2)企業(yè)發(fā)展?fàn)顩r

(3)企業(yè)半導(dǎo)體清洗設(shè)備業(yè)務(wù)布局現(xiàn)狀

6.3 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備代表性企業(yè)發(fā)展布局案例

6.3.1 北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司

(1)企業(yè)概況

(2)企業(yè)研發(fā)分析

(3)產(chǎn)品/服務(wù)特色

(4)公司經(jīng)營狀況

(5)公司發(fā)展規(guī)劃

6.3.2 盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司

(1)企業(yè)概況

(2)企業(yè)技術(shù)水平分析

(3)業(yè)務(wù)布局分析

(4)公司經(jīng)營狀況

(5)公司發(fā)展規(guī)劃

6.3.3 沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司

(1)企業(yè)概況

(2)企業(yè)技術(shù)水平分析

(3)產(chǎn)品/服務(wù)特色

(4)公司經(jīng)營狀況

(5)公司發(fā)展規(guī)劃

6.3.4 上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司

(1)企業(yè)概況

(2)企業(yè)技術(shù)水平分析

(3)產(chǎn)品/服務(wù)特色

(4)公司經(jīng)營狀況

(5)公司發(fā)展規(guī)劃

6.3.5 蘇州智程半導(dǎo)體科技股份有限公司

(1)企業(yè)概況

(2)企業(yè)技術(shù)水平分析

(3)產(chǎn)品/服務(wù)特色

(4)公司經(jīng)營狀況

(5)公司發(fā)展規(guī)劃

第7章中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)及投資策略建議

7.1 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展?jié)摿υu(píng)估

7.1.1 行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀總結(jié)

7.1.2 行業(yè)發(fā)展?jié)摿υu(píng)估

(1)行業(yè)生命發(fā)展周期

(2)行業(yè)發(fā)展?jié)摿υu(píng)估

7.1.3 2025-2031年行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模預(yù)測(cè)分析

7.2 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)投資風(fēng)險(xiǎn)預(yù)警與防范策略

7.2.1 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)投資風(fēng)險(xiǎn)預(yù)警

7.2.2 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備投資風(fēng)險(xiǎn)防范策略

7.3 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)投資機(jī)會(huì)分析

7.4 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)投資策略與建議

7.5 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)可持續(xù)發(fā)展建議

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