離子注入機

離子注入機-產(chǎn)業(yè)百科

離子注入機是半導體制造領域的核心工藝設備，其通過將特定種類離子以精確控制的能量和劑量注入半導體材料，實現(xiàn)對材料電學性能的精準調(diào)控。作為現(xiàn)代集成電路制造中不可或缺的標準設備，離子注入機在摻雜工藝環(huán)節(jié)發(fā)揮著關鍵作用，通過改變半導體材料的導電特性來構建晶體管等基礎器件結構，為大規(guī)模集成電路的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)提供了堅實的技術支撐。近年來，5G通信、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術的蓬勃發(fā)展帶動全球半導體產(chǎn)業(yè)持續(xù)擴張，直接推動了離子注入機市場的快速增長。據(jù)統(tǒng)計，中國離子注入機市場規(guī)模已經(jīng)從2016年的23.22億元增長至2024年的141.93億元，年復合增長率為25.39%。