晶瑞股份購得ASML XT 1900Gi型光刻機一臺，已搬入公司高端光刻膠研發(fā)實驗室[圖]

    1月19日晚間，晶瑞股份發(fā)布公告稱，經(jīng)公司多方協(xié)商、積極運作，順利購得ASML XT 1900Gi型光刻機一臺。該設備于2021年1月19日運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實驗室。下一步，公司將積極組織相關(guān)資源，盡快完成設備的安裝調(diào)試工作。

    該型號光刻機可用于研發(fā)最高分辨率達28nm的高端光刻膠。該型號光刻機為十年前的產(chǎn)品，本是中國第一批浸沒式光刻機，由無錫SK海力士購入。不過之后由于SK海力士工廠起火，更換了制程，這些設備又被運到韓國?，F(xiàn)在，其中一臺設備又被晶瑞股份購得。

蘇州晶瑞化學股份有限公司關(guān)于購買光刻機設備進展情況的公告

資料來源：公司官網(wǎng)、智研咨詢整理

    蘇州晶瑞化學股份有限公司量產(chǎn)光刻膠近30年，組建了國內(nèi)領(lǐng)先的光刻膠研發(fā)團隊，具有豐富的光刻膠研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗，先后承擔了國家“85”攻關(guān)、“863”重大專項、科技部創(chuàng)新基金等科技項目、承擔了國家02重大專項“i線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目，并順利通過國家02重大專項驗收。

    2019年晶瑞股份營業(yè)收入為7.56億元，利潤總額為0.46億元；2020年前三季度晶瑞股份營業(yè)收入為7.14億元，利潤總額為0.77億元。

2015-2020年前三季度晶瑞股份營業(yè)收入及利潤總額

資料來源：公司官網(wǎng)、智研咨詢整理

    公司完成中試的KrF光刻膠已進入客戶測試階段，達到0.15μm的分辨率。本次購買的ASML光刻機設備系公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目的必要實驗設備，旨在研發(fā)出更高端的ArF光刻膠，若研發(fā)工作進展順利，將有助于公司將光刻膠產(chǎn)品序列實現(xiàn)到ArF光刻膠的跨越，并最終實現(xiàn)應用于12英寸芯片制造的戰(zhàn)略布局。