研判2025！中國CVD碳化硅零部件行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈、市場規(guī)模及重點企業(yè)分析：CVD碳化硅零部件加速國產(chǎn)化，但仍處追趕國際先進水平階段[圖]

內(nèi)容概況：近年來，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，CVD碳化硅零部件作為關(guān)鍵材料，其市場需求持續(xù)增長。中國作為全球最大的半導(dǎo)體市場之一，CVD碳化硅零部件行業(yè)也在加速發(fā)展，但整體仍處于追趕國際先進水平的階段。2024年，中國CVD碳化硅零部件行業(yè)市場規(guī)模為19.94億元，同比增長17.42%。

相關(guān)上市企業(yè)：天岳先進（688234）、三安光電（600703）、華潤微（688396）、東尼電子（603595）、斯達半導(dǎo)（603290）

相關(guān)企業(yè)：江蘇聯(lián)瑞新材料股份有限公司、合盛硅業(yè)股份有限公司、湖北鼎龍控股股份有限公司、方大炭素新材料科技股份有限公司、北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司、拓荊科技股份有限公司、廣東創(chuàng)世紀(jì)智能裝備集團股份有限公司、中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司、沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司、山東天岳先進科技股份有限公司、北京天科合達半導(dǎo)體股份有限公司、深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司、浙江晶盛機電股份有限公司

關(guān)鍵詞：CVD碳化硅零部件、CVD碳化硅零部件市場規(guī)模、CVD碳化硅零部件行業(yè)現(xiàn)狀、CVD碳化硅零部件發(fā)展趨勢

一、行業(yè)概述

CVD碳化硅零部件是指以化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)為基礎(chǔ)，通過在基板上沉積碳化硅（SiC）材料，生產(chǎn)出具有高性能、高可靠性、耐高溫、耐高壓等特性的零部件。這種材料因其具有出色的熱、電和化學(xué)性質(zhì)的獨特組合，使其非常適合在需要高性能材料的半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用。

二、行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈

CVD碳化硅零部件行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游主要包括高純硅粉、高純碳粉等原材料，以及純化爐、CVD沉積爐、CNC設(shè)備等生產(chǎn)設(shè)備。產(chǎn)業(yè)鏈中游為CVD碳化硅零部件生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)。產(chǎn)業(yè)鏈下游主要為半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，包括刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備、Si外延設(shè)備和SiC外延設(shè)備、快速熱處理設(shè)備等。

近年來，中國大陸在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)進步顯著。國內(nèi)企業(yè)如中微公司等在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域取得了重要突破，部分產(chǎn)品已達到國際先進水平。這些技術(shù)進步不僅提升了國內(nèi)企業(yè)的市場競爭力，也加速了國產(chǎn)替代進程。政府出臺的一系列政策支持，進一步推動了半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化。2024年，中國大陸集成電路刻蝕設(shè)備市場規(guī)模為696.50億元，同比增長36.14%。而隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)向7nm及以下先進制程邁進，刻蝕設(shè)備對高耐腐蝕、高導(dǎo)熱材料的需求激增。CVD碳化硅零部件因其對含氯、含氟刻蝕氣體的低反應(yīng)性以及優(yōu)異的導(dǎo)電性能，成為等離子體刻蝕設(shè)備中聚焦環(huán)、氣體噴淋頭等部件的理想材料。

相關(guān)報告：智研咨詢發(fā)布的《中國CVD碳化硅零部件行業(yè)市場全景調(diào)研及發(fā)展趨向研判報告》

三、市場規(guī)模

隨著5G通信、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的迅速崛起，全球半導(dǎo)體行業(yè)對高性能零部件的需求不斷增加。CVD碳化硅零部件因其卓越的耐高溫、耐腐蝕和高導(dǎo)電性等特性，成為半導(dǎo)體制造設(shè)備中的關(guān)鍵材料，推動了市場規(guī)模的擴大。2024年，全球CVD碳化硅零部件行業(yè)市場規(guī)模為10.70億元，同比增長11.23%。

近年來，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，CVD碳化硅零部件作為關(guān)鍵材料，其市場需求持續(xù)增長。中國作為全球最大的半導(dǎo)體市場之一，CVD碳化硅零部件行業(yè)也在加速發(fā)展，但整體仍處于追趕國際先進水平的階段。2024年，中國CVD碳化硅零部件行業(yè)市場規(guī)模為19.94億元，同比增長17.42%。

四、重點企業(yè)經(jīng)營情況

全球CVD碳化硅零部件市場由國際巨頭主導(dǎo)，如Tokai Carbon、Sgl Carbon、Toyo Tanso等。然而，中國企業(yè)在技術(shù)突破和國產(chǎn)化替代方面取得了顯著進展。例如，2022年，志橙半導(dǎo)體以3.57%的全球市占率成為唯一進入前十的中國企業(yè)，德智新材料、六方科技等企業(yè)也在技術(shù)突破和產(chǎn)能擴張方面表現(xiàn)出色。這些企業(yè)通過不斷的技術(shù)創(chuàng)新和市場拓展，逐步縮小了與國際水平的差距。

深圳市志橙半導(dǎo)體材料股份有限公司成立于2017年，主要研發(fā)、生產(chǎn)、銷售用于半導(dǎo)體設(shè)備的碳化硅涂層石墨零部件產(chǎn)品，并提供相關(guān)碳化硅涂層服務(wù)，主要產(chǎn)品可用于碳化硅（SiC）外延設(shè)備、MOCVD設(shè)備、硅（Si）外延設(shè)備等多種半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔內(nèi)。公司是國內(nèi)少數(shù)能夠自主開發(fā)CVD法碳化硅沉積爐并掌握多項CVD碳化硅涂層核心技術(shù)的企業(yè)，截至2023年6月，共獲國內(nèi)授權(quán)專利41項，其中發(fā)明專利24項，實用新型專利17項。公司產(chǎn)品具有高純度、耐高溫、耐腐蝕、高精度等特點，已獲得百余家半導(dǎo)體企業(yè)批量驗證，與國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造、外延片制造、晶圓制造等領(lǐng)域龍頭公司建立了穩(wěn)定的合作關(guān)系。2022年，公司在國內(nèi)CVD碳化硅零部件領(lǐng)域的市場份額達到14.51%，成為國內(nèi)市場第三大供應(yīng)商。公司還積極推進實體碳化硅、燒結(jié)碳化硅等新產(chǎn)品的研發(fā)制備，不斷優(yōu)化公司產(chǎn)品結(jié)構(gòu)。

湖南德智新材料股份有限公司專注于半導(dǎo)體用碳基及碳化物陶瓷部件材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，是國內(nèi)最早采用CVD技術(shù)研發(fā)制造先進半導(dǎo)體用SiC材料的科技型企業(yè)之一。其主要產(chǎn)品有SiC涂層石墨基座、SiC蝕刻環(huán)等。2020年，德智新材自主設(shè)計的國內(nèi)最大化學(xué)氣相沉積設(shè)備正式投入使用，SiC涂層石墨基座順利實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，成為國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)突破國外技術(shù)壟斷的關(guān)鍵產(chǎn)品之一。蝕刻環(huán)是半導(dǎo)體蝕刻工藝的重要耗材，德智新材采用自主研發(fā)的CVD設(shè)備生長SiC本體，再進行精密加工成形，突破了這一技術(shù)難關(guān)，其半導(dǎo)體用SiC蝕刻環(huán)項目已率先在國內(nèi)實現(xiàn)了量產(chǎn)交付。

五、行業(yè)發(fā)展趨勢

1、技術(shù)持續(xù)突破，國產(chǎn)替代加速

隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，CVD碳化硅零部件的技術(shù)水平不斷提升。國內(nèi)企業(yè)在CVD碳化硅零部件領(lǐng)域取得了顯著進展，部分企業(yè)如深圳市志橙半導(dǎo)體材料股份有限公司等已實現(xiàn)產(chǎn)品從無到有的跨越，并逐步提升產(chǎn)品性能和市場份額。未來，國內(nèi)企業(yè)將繼續(xù)加大研發(fā)投入，提升技術(shù)水平，優(yōu)化產(chǎn)品性能，以滿足半導(dǎo)體設(shè)備市場對高性能零部件的不斷增長的需求。同時，政策支持也為國產(chǎn)替代提供了有力保障，加速了CVD碳化硅零部件的國產(chǎn)化進程。

2、市場需求增長，應(yīng)用領(lǐng)域拓展

CVD碳化硅零部件在半導(dǎo)體制造設(shè)備中的應(yīng)用越來越廣泛，特別是在刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備、Si外延設(shè)備和SiC外延設(shè)備等領(lǐng)域。隨著5G通信、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的崛起，全球?qū)Ω咝阅苄酒男枨蟛粩嘣黾樱@將直接推動CVD碳化硅零部件市場的增長。此外，新能源汽車、光伏逆變器等領(lǐng)域的快速發(fā)展也為CVD碳化硅零部件提供了新的應(yīng)用市場。

3、產(chǎn)業(yè)鏈不斷完善，推動協(xié)同發(fā)展

CVD碳化硅零部件行業(yè)的產(chǎn)業(yè)鏈不斷完善，從原材料供應(yīng)到設(shè)備制造，再到下游應(yīng)用，各環(huán)節(jié)協(xié)同發(fā)展。上游原材料供應(yīng)商和設(shè)備制造商的技術(shù)進步，將為CVD碳化硅零部件的生產(chǎn)提供更高質(zhì)量的原材料和更先進的生產(chǎn)設(shè)備。下游應(yīng)用市場的拓展，則將進一步推動CVD碳化硅零部件的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品升級。未來，隨著產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)的協(xié)同發(fā)展，CVD碳化硅零部件行業(yè)將形成更加完善的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，提升整個行業(yè)的競爭力。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（www.anotherchristian.com）發(fā)布的《中國CVD碳化硅零部件行業(yè)市場全景調(diào)研及發(fā)展趨向研判報告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報告、商業(yè)計劃書、可行性研究報告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業(yè)動態(tài)。